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高温无尘室昂贵半导体设备重复着芯片制作过程Fab 8有个与技术无关的大麻烦

来源:天津净化车间(君信达) 浏览量: 发表时间:2017.06.08





高温无尘室昂贵半导体设备重复着芯片制作过程Fab 8有个与技术无关的大麻烦




是会有野生雁鸭飞到该厂的供电网络里,因为身体潮湿误触电线而被“烤熟”;为此Goff只好在厂区附近的池塘放数个诱鸟器,以阻止野生雁鸭靠近他们的电源线。虽然邻近水源会到“会飞的麻烦”,但这仍是一个兴建大型建筑物的好据点;例如该厂有一座从日本运来的压缩机塔,就能透过船运再以卡车接驳。Goff补充指出,内陆城市若要有效率地运输大型设备就困难得多。GlobalFoundries的Fab 8有三层楼高的无尘室,员工有2,700人,以轮班制维持24小时生产线运作;生产线工程师进入宽广的黄光区之前需经过消毒程序,卸妆、在黏蝇纸上来来回回走很多次以清除鞋底的灰尘、并穿上只露出眼睛的无尘衣。



高温无尘室昂贵半导体设备重复着芯片制作过程Fab 8有个与技术无关的大麻烦

无尘室装备包括两层手套、套在鞋子外面的塑料鞋套以及护目镜,在温度可能高达摄氏70度的厂房内让人汗流浃背生产在线的晶圆传送盒(FOUP)能携带20片12吋晶圆,在数英里的高空轨道上经过扩散、清洗、微影、蚀刻、抛光、薄膜与量测等数道程序;但GlobalFoundries不愿透露整个芯片制作过程所需的时间,或是刚飞过我们头顶的芯片是谁家的。微影设备是无尘室内最昂贵的工具,看起来就像大冰箱一样;大多数的芯片制造流程是类似的,并根据工艺节点的不同而有一些变化。各种不同的芯片通常是使用相同的工具,而且每套设备可能会负责4~6种产品线。
无尘室内的半导体设备之昂贵程度,可能让它每平方英呎的价格媲美纽约最贵豪宅 (此图片由GlobalFoundries提供)纽约州政府对GlobalFoundries的Fab 8第一阶段开发(包括研发、装机),投资了6.8亿美元;而在经过层层审核之后,纽约州政府也同意基于薪资、财产投资、就业税收抵免等,给予GlobalFoundries约13~15亿美元的赋税优惠。Fab 8为纽约州创造了1,250个工作机会,自2009年开幕以来,公共投资金额每1美元约可回收2.21美元营收;该公司预计到2015年,该投资报酬率可达到三倍。




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